製品紹介ガス関連｜イワタニファインガス株式会社

一般ガス

ガス名	窒素ガス	アルゴンガス	水素ガス	ヘリウムガス	酸素ガス	炭酸ガス	空気ガス
化学式	N2	Ar	H2	HE	O2	CO2	Air
物性			可燃		支燃
規格	一般（99.99%）	一般（99.99%）	一般（99.95%）	一般（99.995%）	一般（99.5%）	一般（99.5%）	一般
	99.999%	99.999%		99.999%	99.8%	99.99%	高純度Ａ
	99.9999%	99.9999%	99.9999%	99.9999%	99.999%	99.995%	高純度Ｕ
	99.99998%	99.99994%	99.99998%	99.99995%	99.9999%	99.999%	超高純度

ガス名	メタン	アセチレン	エチレン	エタン	メチルアセチレン	プロピレン	プロパン
化学式	CH4	C2H2	Ｃ2Ｈ4	C2H6	C3H4	C3H6	Ｃ3Ｈ8
物性	可燃	可燃	可燃	可燃	可燃	可燃	可燃
規格	一般（99%）	一般（99%）	一般（99%）	99%	98%	99.5%	一般（99%)
	99.9%	99.9999%	99.9%	99.9%		99.8%	エアゾール
	99.99%		99.99%	99.99%		99.95%	無臭プロパン
	99.9995%		99.999%				99%
	99.9999%						99.5%
							99.9%
							99.99%
							99.999%

ガス名	シクロプロパン	エチルアセチレン	1,3-ブタジエン	1-ブテン	イソブテン	ノルマルブタン	イソブタン
化学式	(CH2)3	C4H6	1,3-C4H6	1-C4H8	ｉ-C4H8	n-C4H10	iso-C4H10
物性	可燃	可燃	可燃／毒	可燃	可燃	可燃	可燃
規格	99.5%	95%	99%	99%	99%	99%	99%
				99.8%	99.8%	99.8%	99.9%
						99.95%	99.99%

ガス名	シス-2-ブテン	トランス-2-ブテン	ノルマルペンタン	イソペンタン	ネオペンタン	ジメチルエーテル
化学式	ｃｉｓ-2-C4H8	ｔｒａｎｓ-2-C4H8	n-C5H12	i-C5H12	neo-C5H12	(CH3)20
物性	可燃	可燃	可燃	可燃	可燃	可燃
規格	99%	99%	99%	99%	98.8%	一般（99％）
			99.7%	99.7%		99%
						99.9%

ガス名	アンモニア	硫化水素	一酸化炭素	塩化メチル	塩化エチル	六フッ化硫黄
化学式	NH3	Ｈ2Ｓ	CO	CH3CL	C2H5CL	SF6
物性	可燃／毒	可燃／毒	可燃／毒	可燃／毒	可燃／毒
規格	一般（99.9%)	99.9%	99.9%	99%	98%	一般（99.9%)
	99.9%	99.99%	99.95%			99.9%
	99.999%		99.995%
	99.9999%
	99.99997%

ガス名	塩素	一酸化窒素	二酸化窒素	亜酸化窒素	二酸化硫黄	塩化水素	臭化水素
化学式	CL2	NO	NO2	N2O	SO2	HcL	HBr
物性	支燃／毒	支燃／毒	支燃／毒	支燃	毒	毒	毒
規格	99.4%	99%	99.5%	一般（99.9%)	99.9%	99.9%	99%
	99.99%	99.7%		99.999%	99.99%	99.995%	99.999%
	99.999%	99.99%			99.999%	99.999%

ガス名	キセノン	クリプトン	ネオン	重水素	同位体ヘリウム	同位体酸素	同位体メタン
化学式	XE	KR	NE	Ｄ2	ＨＥ3	O2	ＣＤ4
物性				可燃		支燃	可燃
規格	99.995%	99.995%	99.99%	99.5%	99.9999%
規格	99.999%	99.999%	99.999%	99.995%

ガス名	液体窒素ガス	液体アルゴンガス	液体酸素ガス	液体炭酸ガス	液体ヘリウムガス
化学式	LN2	LAr	LO2	LCO2	LHe
物性			支燃
販売規格	5ℓ・10ℓ・119kg(175ℓ）	5ℓ・10ℓ・180kg(175ℓ）	5ℓ・10ℓ・160kg（175ℓ）	160kg（175ℓ）	30ℓ・50ℓ
販売規格	50ℓ・100ℓ	50ℓ・100ℓ			100ℓ・250ℓ

標準混合ガス

ガス名	化学式
エチルエーテル	(C2H5)2O
シクロプロパン	(CH2)3
シクロヘキサン	(CH2)6
アセトン	(CH3)2CO
硫化メチル	(CH3)2S
二硫化メチル	(CH3)2S2
ブチルメルカプタン	（CH3)3CSH
トリメチルアミン	(CH3)3N
ジクロルエチレン	1,1-C2H2Cl2
ジクロルエタン	1,2-C2H4Cl2
1,2-ブタジエン	1,2-C4H6
1-ブテン	1-C4H8
1-ヘキセン	1-C6H12
アルゴン	Ar
一酸化炭素	C(18)O
フロン-114	C2Cl2F4
フロン-113	C2Cl3F3
テトラクロルエチレン	C2Cl4
フロン-112	C2Cl4F2
フロン-115	C2ClF5
アセチレン	C2H2
アクロレイン	C2H3CHO
塩化ビニル	C2H3Cl
トリクロルエタン	C2H3Cl3
エチレン	C2H4
酸化エチレン	C2H4O
チオフェン	C2H4S
エチルアセチレン	C2H5CCH
塩化エチル	C2H5Cl
エチルメチルケトン	C2H5COCH3
エタノール	C2H5OH
エチルメルカプタン	C2H5SH
エタン	C2H6
フロン-123	C2HCl2F3
オクタフルオロプロパン	C3F8
エンフルラン	C3H2CLF5O
イソフルラン	C3H2F5CLO
メチルアセチレン	C3H4
塩化アリル	C3H5Cl
プロピレン	C3H6
プロパン	C3H8
ビニルアセチレン	C4H4
トルエン	C6H5(CH3) ・C7H8
エチルベンゼン	C6H5C2H5
塩化ベンジル	C6H5CH2CL
ベンゼン	C6H6
キシレン	C8H10
フロン-13B1	CBrF3
フロン-12	CCl2F2
フロン-11	CCl3F
四塩化炭素	CCl4
四フッ化メタン	CF4
臭化メチレン	CH2Br2
アクリロニトリル	CH2CHCN
塩化メチレン	CH2Cl2
フロン-134a	CH2FCF3
臭化メチル	CH3Br
アセトアルデヒド	CH3CHO
塩化メチル	CH3Cl
メチルエチルケトン	CH3COC2H5
酢酸ビニル	CH3COOC2H3
酢酸エチル	CH3COOC2H6
ヨウ化メチル	CH3I
ジメチルエーテル	CH3OCH3
メタノール	CH3OH
メチルエチルサルファイド	CH3SC2H5
メチルメルカプタン	CH3SH
メタン	CH4
クロロホルム	CHCl3
トリクロルエチレン	CHClCCl2
フロン-22	CHClF2
シス-2-ブテン	Cis-2-C4H8
塩素	Cl2
一酸化炭素	CO
炭酸	CO2
硫化カルボニル	COS
二硫化炭素	CS2
オクタフルオロシクロブタン	cyclo-C4F8
フッ素	F2
水素	H2
硫化水素	H2S
臭化水素	HBr
ホルムアルデヒド	HCHO
塩化水素	HCl
ヘリウム	He
フッ化水素	HF
イソプロピルベンゼン	i-(C3H7)C6H6
イソブチルアルデヒド	i-C3H7CHO
イソプロピルアルコール	i-C3H7OH
イソブタン	i-C4H10
イソブテン	i-C4H8
イソバレルアルデヒド	i-C4H9CO
イソブタノール	i-C4H9OH
イソペンタン	i-C5H12
イソヘキサン	i-C6H14
クリプトン	Kr
メタ－キシレン	m-C6H4(CH3)2
m-エチルトルエン	m-C7H7(C2H5)
窒素	N2
亜酸化窒素	N2O
n-ウンデカン	n-C11H24
ノルマル－ブタン	n-C4H10
ノルマル－ペンタン	n-C5H12
ノルマル－ヘキサン	n-C6H14
ノルマル－ヘプタン	n-C7H16
オクタン	n-C8H18
ネオン	Ne
アンモニア	NH3
一酸化窒素	NO
二酸化窒素	NO2
酸素	O2
空気	O2+N2
o-エチルトルエン	o-C7H7(C2H5)
p-エチルトルエン	p-C7H7(C2H5)
六フッ化硫黄	SF6
二酸化硫黄	SO2
トランス-2-ブテン	t-2-C4H8
キセノン	Xe

大気・生態系環境測定用標準ガス

有害大気汚染物質測定用	HAPs-J9
	HAPs-J12
	HAPs-J17
	HAPs-BTX
	HAPs-JE3
	HAPs-J44
	HAPs-J44+EO
	HAPs-J44+F7
	HAPs-J52
	HAPs-J52SP
内部標準ガス
光化学スモッグモニタリング用	PAMS-J58
新規自動車排気ガス規制用	NMOGs-JX
室内空気汚染測定用	IAP-JH
悪臭物質測定用	ODOR-J14
揮発性有機化合物測定用	IAP-JX

新規自動車排気ガス規制用	NMOGs-JX
VOCsフリーゼロガス	窒素ガス
	ヘリウムガス
	空気ガス

VOCsフリー超精密圧力調整器

	形　式	１次側圧力	２次側圧力	流　量	材　質
標準ガス／VOCsフリーゼロガス用	YSRH-2503	25MPa	0.3MPa	2L／分	SUS-316
標準ガス／VOCsフリーゼロガス用	YSRH-2506	25MPa	0.6MPa	2L／分	SUS-316

半導体用ガス

ガス名	モノシラン	ジシラン	モノメチルシラン	ジメチルシラン	トリメチルシラン	テトラエトキシシラン
化学式	SiH4	Si2H6	(CH3)SiH3	(CH3)2SIH2	(CH3)3SiH3	TEOS｛ Si(OC2H5)4 ｝
物性	可燃／毒	可燃／毒	可燃	可燃	可燃	可燃
規格	99.9999%	99.99%	99.99%	99.99%	99.99%	99.9999%

ガス名	ホスフィン	ジボラン	アルシン	ゲルマン	トリメチルボロン	トリメチルホスフィン
化学式	PH3	B2H6	AsH3	GeH4	B(OCH3)3	PO(OCH3)3
物性	可燃／毒	可燃／毒	可燃／毒	可燃／毒	可燃／毒	可燃／毒
規格	99.999%	99.995%	99.999%	99.95%	99.9999%	99.9999%
	99.9995%	99.999%	99.9999%	99.999%	99.99999%	99.999995%
	99.9999%

ガス名	二フッ化メタン	三フッ化メタン	四フッ化メタン	二フッ化エタン	四フッ化エタン	五フッ化エタン
化学式	CH2F2	CHF3	CF4	CCLF2CH3	CH2FCF3	C2HF5
物性	可燃			可燃
規格	99.9%	99.9%	99.99%	99.9%	99.9%	99.9%
	99.99%	99.99%	99.999%
		99.999%

ガス名	六フッ化エタン	八フッ化プロパン	オクタフルオロシクロブタン	六フッ化硫黄	三フッ化窒素
化学式	C2F6	C3F8	C4F8	SF6	NF3
物性					支燃／毒
規格	99.99%	99.9%	99.99%	一般（99.9%)	99.995%
	99.99995%	99.99%	99.999%	99.9%
				99.999%

ガス名	三フッ化ホウ素	エンリッチボロン	三塩化ホウ素	三フッ化塩素	三フッ化リン	四フッ化ケイ素
化学式	BF3	11BF3	BCL3	CLF3	PF3	SiF4
物性	毒	毒	毒	支燃／毒	毒	毒
規格	99.99%	99.9%	99.999%	99.9%	99.99%	99.999%
規格				99.99%

ガス名	フッ素	フッ化水素	四塩化ケイ素	ジクロロシラン	トリクロロシラン	六フッ化タングステン
化学式	F2	HF	SiCL4	SiH2Cl2	SiHCl3	WF6
物性	支燃／毒	毒	毒	可燃／毒	可燃／毒	毒
規格	99.9%	99.999%	99.9999%	99.9%	99.99%	99.999%
規格						99.9995%

主要一般ガス　不純物一覧

ガス名	規格	O2	H2	CO	CO2	CH4	THC	H2O
窒素ガス	一般（99.99%）	50	―	―	―	―	―	13.9
	99.999%	5	2	1	1	―	1	9.3
	99.9999%	0.2	―	0.1	0.1	0.1	―	1.03
	99.99998%	0.01	0.02	0.02	0.02	―	0.02	1

ガス名	規格	N2	O2	H2	CO	CO2	CH4	THC	H2O
アルゴンガス	一般（99.99%）	50	10	―	―	―	―	―	10
	99.999%	5	1	2	―	1	―	1	2.6
	99.9999%	1	0.2	―	0.1	0.1	0.1	―	1.03
	99.99994%	0.3	0.1	0.05	0.05	0.05	0.05	―	1

ガス名	規格	N2	O2	CO	CO2	ＴＨＣ	H2O
水素ガス	一般（99.95%）	200	50	1	1	5	20.7
	99.9999%	0.2	0.1	0.05	0.05	0.05	1.03
	99.99999%	0.05	0.02	0.01	0.01	0.01	0.5

ガス名	規格	N2	O2	CO	CO2	ＴＨＣ	H2O
ヘリウムガス	一般（99.995%）	20	5	1	5	1	5.3
	99.999%	5	1	1	1	1	2.6
	99.9999%	0.2	0.1	0.05	0.05	0.05	1.03
	99.99995%	0.1	0.05	0.05	0.05	0.05	(0.5)

ガス名	規格	N2	ＡＲ	CO	CO2	CH4	H2O
酸素	一般（99.5%）	2500	2500	―	―	―	20.5
	99.8%	500	―	―	―	15	10
	99.999%	5	―	0.5	0.5	0.5	1
	99.9999%	0.2	0.1	0.03	0.03	0.03	1

ガス名	規格	CO	CO2	ＴＨＣ	H2O	NOX	SOX
空気	一般
	高純度Ａ	1	2	3	10
	高純度Ｕ	1	1	0.1	5	0.01	0.01
	超高純度	0.1	0.1	0.1	0.54	0.005	0.005

ガス名	規格	N2	O2	ＡＲ	CO2	H2O	Ｃ2Ｈ6	C3H8	その他
メタン	一般（99%）	3000							1000
	99.9%	700	10	1	1	5
	99.99%	20	1	1	1	2	1	1
	99.9995%
	99.9999%	0.5	0.02	0.02	0.02	2	0.06	0.09

ガス名	規格	N2	O2	H2	CO2	CH4	H2O
一酸化炭素	99.9%	500	100	100	100		10
	99.95%	150	30	15	30	1	3
	99.995%	10	2	5	5	0.5	1

ガス名	規格	N2	CO2	CH4	H2O	N2O	NO2
一酸化窒素	99%	5000	500		10	3000	1000
	99.7%	1000	100		5	1000	1000
	99.99%	30	1	1	1	30	30

＊不純物の値は「ｐｐｍ」で、記載数値以下です。

＊但し、一般グレードのガスは、充填するガスの規格値であり、スペック保障対象外です。

＊規格値は、予告なく変更することがあります。

製品紹介 ガス関連

VOCsフリー超精密圧力調整器

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